Micro pump and manufacturing method

マイクロポンプ及びその製造方法

Abstract

【課題】マイクロポンプにおいて、微小量の液体を高圧でしかも高精度に送液可能とすること。 【解決手段】マイクロポンプ50は、微小流路16に開口する2つ液体出入り流路19を設けたポート基板13と、2つバルブダイアフラム11A及びポンプダイアフラム11Bを設けたバルブ基板と、バルブダイアフラム11Aを変位させるバルブ圧電素子15Aと、ポンプダイアフラム11Bを変位させるポンプ圧電素子15Bとを備える。バルブダイアフラム11Aの中央部に厚肉部18A、18Bを設け、圧電素子15A、15Bを積層圧電素子で構成してバルブ基板13の駆動部設置穴12A、12Bに設置し、圧電素子15A、15Bの一側を厚肉部18A、18Bに固定すると共に他側を位置決め用ピン20A、20Bに固定し、位置決め用ピン20A、20Bを駆動部設置穴12A、12Bに嵌合して固定した。 【選択図】図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro pump delivering a minute quantity of liquid at high pressure with high accuracy. <P>SOLUTION: The micro pump 50 comprises a port substrate 13 provided with two liquid entrance and exit flow passages 19 opening to a minute flow passage 16, a valve substrate provided with two valve diaphragm 11A and pump diaphragm 11B, a valve piezoelectric element 15A for displacing the valve diaphragms 11A and a valve piezoelectric element 15B for displacing the pump diaphragms 11B. Thick-wall portions 18A, 18B are formed in a central part of the valve diaphragm 11A. The valve piezoelectric elements 15A, 15B are composed of laminated piezoelectric elements and are installed in drive section installing holes 12A, 12B of the valve substrate 13. One sides of the piezoelectric elements 15A, 15B are fixed to the thick-wall portions 18A, 18B and the other sides are fixed to positioning pins 20A, 20B. The positioning pins 20A, 20B are fitted in and fixed to the drive section installing holes 12A, 12B. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

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    CN-102269150-ADecember 07, 2011罗伯特·博世有限公司微型泵
    WO-2013046330-A1April 04, 2013株式会社菊池製作所マイクロダイヤフラムポンプ